VIGOUR>>พันธมิตรที่เชื่อถือได้ของคุณสำหรับระบบส่งก๊าซขั้นสูง
ในอุตสาหกรรมเทคโนโลยีชั้นสูง-ซึ่งความแม่นยำ ความบริสุทธิ์ และความปลอดภัยไม่สามารถ-ต่อรองได้ การส่งมอบก๊าซที่เชื่อถือได้ถือเป็นพื้นฐาน VIGOR ออกแบบและผลิตระบบจัดส่งก๊าซแบบครบวงจรที่ตอบสนองความต้องการที่สำคัญเหล่านี้ โดยสนับสนุนนวัตกรรมและผลผลิตในภาคการวิจัยและการผลิตทั่วโลก
ชั้นวางแก๊สแบบพิเศษ
วีจีอาร์ ซีรีส์
- การจ่ายก๊าซปริมาณมากเกรดอิเล็กทรอนิกส์-อย่างปลอดภัยอย่างต่อเนื่องและไม่หยุดชะงัก
- ฟังก์ชั่นการระบายอากาศและการไล่อากาศเสริม พร้อมระบบระบายแรงดันเพื่อความปลอดภัย
- ชุดประกอบเชื่อมห้องคลีนรูมคลาส 100
- การควบคุม PLC เสริมพร้อมอินเทอร์เฟซการสื่อสาร ซึ่งสามารถเข้าถึงได้โดยระบบแพลตฟอร์มการตรวจสอบอัจฉริยะ
- สัญญาณเตือนแรงดันสูง / แรงดันต่ำพร้อมสัญญาณเสียงและภาพ สามารถปิดฉุกเฉินได้
- จอแสดงผลแบบสัมผัสสำหรับแรงดันกระบอกสูบและข้อมูลอื่นๆ
- ประเภท: ตู้ควบคุมแก๊สแบบพิเศษ
- วัสดุ: SS 316L สำหรับวาล์วและส่วนประกอบท่อ
- ก๊าซที่ใช้บังคับ: ก๊าซเฉื่อย (Ne, Kr, Ar, He ฯลฯ)
- วิธีการจ่ายแก๊ส: ถังแก๊ส
- แหล่งจ่ายไฟ: 110~240VAC
- รูปแบบ: กระบอกสูบเดี่ยว-, กระบอกสูบคู่-
ตู้แก๊สพิเศษ
วีจีซี ซีรีส์
- ประเภท : ตู้แก๊สพิเศษ
- วัสดุ: SS 316L สำหรับวาล์วและส่วนประกอบท่อ
- ก๊าซที่ใช้บังคับ: ก๊าซไวไฟ/ก๊าซที่ติดไฟได้เอง- ก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ก๊าซพิษ (เช่น SiH4, HCL)
- แหล่งจ่ายไฟ: 110~240V AC
- โครงสร้าง: เหล็กเชื่อมที่ทนทานต่อการกัดกร่อน-
- หน้าต่างกระจก: ปิดอัตโนมัติ-
- ท่อไอเสีย: ท่อไอเสียแบบติดด้านบน-
- การใช้งานผลิตภัณฑ์: มหาวิทยาลัย/ห้องปฏิบัติการวิจัย; การผลิตภาคอุตสาหกรรม; พลังงานแสงอาทิตย์; ยาและเทคโนโลยีชีวภาพ; การผลิตวงจรรวมสารกึ่งตัวนำ
- มาตรฐานการออกแบบ: สอดคล้องกับมาตรฐาน SEMI S2; สอดคล้องกับรหัสความปลอดภัยจากอัคคีภัยอาคารระหว่างประเทศ แรงดันใช้งานสูงสุด: 110% ของแรงดันทดสอบพิสูจน์
ชุดประกอบติดแก๊ส
วียูพี ซีรีส์
- แท่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษสำหรับระบบการนำก๊าซทั้งหมด
100TG: น้อยกว่าหรือเท่ากับ 30 slpm การส่งผ่าน 1/4"VFS
200TG: น้อยกว่าหรือเท่ากับ 300 slpm การส่งผ่าน 3/8"VFS
300TG: น้อยกว่าหรือเท่ากับ 600 slpm การส่งผ่าน 1/2"VFS
- ผลิตภัณฑ์ได้รับการประดิษฐ์ขึ้นตามข้อกำหนดกระบวนการ VS001A
- ความแม่นยำในการควบคุมสูง
- การเชื่อมต่อทั้งหมดเป็นแบบเชื่อมหรือ VFS
- ตัวเลือกวาล์วไดอะแฟรมแบบแมนนวลหรือแบบนิวแมติก
- ฮีเลียม 100% ผ่านการทดสอบ-การรั่ว-
- แรงดันขาเข้า P1: 300 psig (20bar)
- แรงดันขาออก P2: Vac ถึง 30/60/100/150 psig (1/2/4/7/10bar)
- วัสดุวาล์วไดอะแฟรม: ร่างกาย 316L; บ่าวาล์ว PCTFE; ไดอะแฟรม Elgiloy®
- วัสดุควบคุม: ร่างกาย 316L/316L รอง remelt; บ่าวาล์ว PCTFE; ไดอะแฟรม Hastelloy®
- อัตราการรั่วไหล: (สู่บรรยากาศ) 1x10^-9 mbar I/s He;
(ผ่านเบาะนั่ง) 1x10^-8 mbar I/s H
แผงควบคุมแรงดัน
ซีรีส์ VUP-1U
- แผงควบคุมแรงดัน (แบบด้านเดียว)
- VSR-100UBS/UCS ซีรี่ส์ ตัวควบคุมสเตจเดียว
- VDV33UBS Series วาล์วไดอะแฟรมระบายอากาศ
- VDV33UBS Series วาล์วไดอะแฟรมกระบวนการทางเข้า
- การเชื่อมต่อซีลใบหน้า VFS เชื่อมแบบวงโคจร-
- การออกแบบโมดูลาร์
- เหมาะสำหรับแรงดันขาเข้าสูงถึง 3500 psig (250bar)
- ติดตั้งง่ายในตู้เซฟสำหรับถังแก๊ส
- ทดสอบการรั่วของฮีเลียม 100%
- แรงดันขาเข้า P1: สูงสุด 3500 psig (250bar)
- แรงดันทางออก P2: Vac ถึง 10/30/60/100/150 psig (0.7/2/4/7/10 บาร์)
- พื้นผิว: 10uin Ra (ตัวเลือก 25uin. Ra)
- ทางเข้าและทางออก: 1/4" ข้อต่อ VFS
- ช่วงอุณหภูมิ: -40F ถึง +160°F (-40 องศา ถึง +71 องศา )
- ความจุการไหล: Cv=0.09 (ตัวเลือก Cv=0.15)
ออกแบบมาเพื่อความเป็นเลิศและความปลอดภัย
ระบบจัดส่งก๊าซ VIGOR ทุกระบบได้รับการพัฒนาภายใต้ความมุ่งมั่นในมาตรฐานสูงสุด:
- การออกแบบและการปฏิบัติตามข้อกำหนด:ผลิตภัณฑ์สอดคล้องกับ SEMI S2 และรหัสความปลอดภัยจากอัคคีภัยสากล พร้อมด้วยคุณลักษณะด้านความปลอดภัย เช่น การปิดเครื่องฉุกเฉิน-และการแจ้งเตือนแรงดันที่รวมอยู่ในระบบทั้งหมด
- ความบริสุทธิ์ในการผลิต:การประกอบและการเชื่อมแบบวงโคจรดำเนินการในสภาพแวดล้อมห้องปลอดเชื้อคลาส 100 โดยใช้วัสดุที่มีความสมบูรณ์สูง- เช่น SS 316L และ Hastelloy® C276 เพื่อให้มั่นใจถึงความสะอาดและอายุการใช้งานของระบบ
- ความซื่อสัตย์ที่ได้รับการยืนยัน:แต่ละหน่วยผ่านการทดสอบการรั่วของฮีเลียมอย่างเข้มงวด 100% รับประกันการรั่วไหล-ประสิทธิภาพที่รัดกุม
