VIGOR สินค้าด่วน|โฟลว์สวิตช์ ซีรีส์ VEFS2

ขับเคลื่อนโดยปัญญาประดิษฐ์ การประมวลผลประสิทธิภาพสูง- อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ในยานยนต์ และแอปพลิเคชัน Internet of Things อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์กำลังอยู่ระหว่างการเปลี่ยนแปลงอย่างรวดเร็ว อย่างไรก็ตาม การเติบโตที่โดดเด่นนี้ยังได้นำมาซึ่งความท้าทายในการดำเนินงานใหม่ๆ อีกด้วย เมื่อขนาดการผลิตขยายตัวในอัตราที่ไม่เคยเกิดขึ้นมาก่อน ก๊าซชนิดพิเศษที่มีความเสี่ยงสูง เช่น ไซเลนและฟอสฟีน จึงถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ การรั่วไหลของก๊าซที่ไม่สามารถควบคุมได้ซึ่งเกิดจากการแตกของท่อ ข้อต่อหลวม การซีลล้มเหลว หรือการติดตั้งที่ไม่เหมาะสม อาจบานปลายไปสู่เหตุการณ์ด้านความปลอดภัยที่รุนแรง คุกคามต่อความปลอดภัยของบุคลากร สร้างความเสียหายให้กับอุปกรณ์การผลิตที่สำคัญ และทำให้เกิดการหยุดทำงานโดยไม่ได้วางแผนซึ่งมีค่าใช้จ่ายสูง เมื่อเทียบกับพื้นหลังนี้ Excess Flow Switch (EFS) ของ VIGOUR ซึ่งมีการออกแบบการกระตุ้นด้วยกลไกล้วนๆ และความเข้ากันได้เป็นพิเศษ-ความบริสุทธิ์สูง- (UHP) ได้กลายเป็นระบบป้องกันความปลอดภัยที่ขาดไม่ได้สำหรับระบบจ่ายก๊าซแบบพิเศษ รวมถึงตู้แก๊สและ VMB ในสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลก

หลักการออกแบบหลักของ VIGOR EFS คือการตรวจจับสภาวะการไหลที่ผิดปกติและตอบสนองได้อย่างน่าเชื่อถือ เมื่อความล้มเหลวของไปป์ไลน์ดาวน์สตรีมส่งผลให้เกิดกระแสไฟกระชากอย่างกะทันหันและมากเกินไปซึ่งเกิน-จุดทริปวิกฤติที่ตั้งไว้ล่วงหน้า อุปกรณ์จะทริกเกอร์สัญญาณตอบสนองทันที สัญญาณนี้จะถูกส่งผ่านการเปิดหรือปิดหน้าสัมผัสทางไฟฟ้าใน-สวิตช์กกในตัว ซึ่งจากนั้นจะซิงโครไนซ์และส่งไปยังระบบ SCADA หรือระบบตรวจสอบก๊าซ (GMS) ด้วยการแจ้งเตือนแบบเรียลไทม์-และเปิดใช้งานการตอบสนองอัตโนมัติที่รวดเร็ว จะช่วยสนับสนุนการจัดการความปลอดภัยเชิงรุก บรรเทาอันตรายที่อาจเกิดขึ้นได้อย่างมีประสิทธิภาพ และเพิ่มความน่าเชื่อถือโดยรวมของเครือข่ายการส่งก๊าซ

ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ทุกส่วนประกอบในระบบแก๊สอาจกลายเป็นแหล่งปนเปื้อนได้ แม้แต่อนุภาคขนาดเล็ก สิ่งเจือปนที่เป็นโลหะ หรือการดูดซับที่พื้นผิวก็อาจทำให้คุณภาพของเวเฟอร์ลดลงและลดผลผลิตได้ ดังนั้น VIGOR จึงปฏิบัติตามมาตรฐานที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์อย่างเคร่งครัด เพื่อรับประกันความบริสุทธิ์ของวัสดุ ความสะอาดของพื้นผิว และความเสถียรในการปฏิบัติงาน

ในแง่ของมาตรฐานวัสดุ VIGOR ใช้เฉพาะเหล็กกล้าไร้สนิม 316L ที่ผลิตผ่านเทคโนโลยีการหลอมสองเท่าของ VIM/VAR- กระบวนการทางโลหะวิทยาขั้นสูงนี้ช่วยลดการรวมตัวของโลหะและสิ่งสกปรกที่ตกค้างได้อย่างมาก ทำให้มั่นใจได้ถึงความต้านทานการกัดกร่อนที่ดีเยี่ยมและลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนของก๊าซ สำหรับการปรับสภาพพื้นผิว ผลิตภัณฑ์ทั้งหมดผ่านการขัดเงาด้วยไฟฟ้าขั้นสูง (EP) โดยคงความหยาบของพื้นผิวภายในไว้ที่ 5–10 μin ภายในที่เรียบและสะอาดเช่นนี้จะป้องกันไม่ให้โมเลกุลของก๊าซดูดซับไปที่ผนังด้านในและลดการตกตะกอนของอนุภาค ช่วยให้ส่งก๊าซที่เสถียรและปราศจากการปนเปื้อน-

นอกจากนี้ VIGOR EFS ยังมีจุดทริปที่สำคัญให้เลือกมากมายและตัวเลือกการกำหนดค่าที่ยืดหยุ่นเพื่อให้เหมาะกับสถานการณ์การใช้งานที่หลากหลาย ด้วยการจับคู่พารามิเตอร์อย่างง่าย ผู้ใช้สามารถกำหนดแบบจำลองที่แม่นยำโดยพิจารณาจากประเภทของก๊าซ สภาวะแรงดันใช้งาน และอัตราการไหลสูงสุดที่อนุญาตได้อย่างง่ายดาย การปรับแต่งระดับสูงนี้รับประกันการป้องกันการไหลเกิน-ที่แม่นยำและเชื่อถือได้สำหรับการใช้งานก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงพิเศษ-สูง-ต่างๆ ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่

  สวิตช์การไหลสำหรับการใช้งานที่มีการไหลสูง

 มีให้เลือกทั้งแบบสายหลักแนวนอนหรือแนวตั้ง

 แรงดันตกผ่านอุปกรณ์น้อยที่สุด

 เอสเอส316Lสแตนเลส